我常以為,學如逆水行舟,而今輕舟已過萬重山。一路走來點滴在心,因此下筆的此刻已經預料到,這將是一篇沉長的謝詞,雖然這不是一篇完美的論文,但這部論文的完成,要感謝的人真的很多,僅以此文表達我誠摯的謝意。 首先要感謝
黃宇中老師的諄諄教誨及包容,在我思想困頓的時候適時指引我方向,還要感謝三位口試委員的指正與協助,使我獲益良多。在此特別感謝
徐文祥老師及其實驗室的成員,在實驗上極需協助的同時伸出援手。感謝博士班
張煒旭學長,在我實驗的同時點出許多我未考慮到的問題,使我的實驗能順利完成。感謝
鍾君煒學長,在微機電儀器上的協助。感謝
林稔杰學長在製程模擬軟體以及有限元素分析軟體上的幫忙。感謝交大奈米中心博愛校區技術員的
范揚禎先生熱心協助,讓我能快速完成許多道實驗,亦感謝蝕刻系統技術員
徐秀巒小姐、爐管系統技術員
黃月美小姐、黃光室
陳悅婷小姐與光罩室的
葉雙得先生,在製程與光罩製作上的協助,讓我本來進度落後的實驗部份如期完成。此外亦要感謝台大奈米機電中心
魏中聖博士和台大應力所博士班
陳建甫學長在深蝕刻製程的鼎力協助,常花費他一次又一次的時間測試,甚為感激。還有感謝中正大學電機碩士班的
許家豪、交通大學電信所博士班
蘇珍儀在製作印刷電路板與打線上的協助,並借貴所的儀器協助我量測,本論文有如此精準的製作與量測結果,都是你們的功勞。