我常以為，學如逆水行舟，而今輕舟已過萬重山。一路走來點滴在心，因此下筆的此刻已經預料到，這將是一篇沉長的謝詞，雖然這不是一篇完美的論文，但這部論文的完成，要感謝的人真的很多，僅以此文表達我誠摯的謝意。
首先要感謝黃宇中老師的諄諄教誨及包容，在我思想困頓的時候適時指引我方向，還要感謝三位口試委員的指正與協助，使我獲益良多。在此特別感謝徐文祥老師及其實驗室的成員，在實驗上極需協助的同時伸出援手。感謝博士班張煒旭學長，在我實驗的同時點出許多我未考慮到的問題，使我的實驗能順利完成。感謝鍾君煒學長，在微機電儀器上的協助。感謝林稔杰學長在製程模擬軟體以及有限元素分析軟體上的幫忙。感謝交大奈米中心博愛校區技術員的范揚禎先生熱心協助，讓我能快速完成許多道實驗，亦感謝蝕刻系統技術員徐秀巒小姐、爐管系統技術員黃月美小姐、黃光室陳悅婷小姐與光罩室的葉雙得先生，在製程與光罩製作上的協助，讓我本來進度落後的實驗部份如期完成。此外亦要感謝台大奈米機電中心魏中聖博士和台大應力所博士班陳建甫學長在深蝕刻製程的鼎力協助，常花費他一次又一次的時間測試，甚為感激。還有感謝中正大學電機碩士班的許家豪、交通大學電信所博士班蘇珍儀在製作印刷電路板與打線上的協助，並借貴所的儀器協助我量測，本論文有如此精準的製作與量測結果，都是你們的功勞。
在碩一剛入學，對實驗狀況完全無法掌握的時候，感謝方淳泓學長熱心指導與提攜，同時感謝學弟郭定隆、張躍瀚學弟，在課業與實驗上相互砥礪，還有感謝郭耿誌、易育聖在積體電路設計上的指教，感謝朱濟群學長在人生與生涯規劃的指引。還要感謝最要好的死黨，中華大學電機系沈信賢和逢甲大學財稅系的范令瑜同學，在一年級初次趟入這陌生的環境時協助我認識新竹，以及我要感謝大葉大學電機所的蔡秉諺同學，在我求學生涯最佳的死黨與玩伴，給我永遠難忘的環島。挂一漏萬，可能尚有一些未提及的朋友們，在此均一併致謝。最後，最要感謝的莫過於我的家人，在我最失意的時候有他們的鼓勵，最煩悶的時候有他們的包容，此無形的力量使我能更堅強的邁進。
徐徐和風，田田荷葉，夏日的交大校園顯得分外恬靜，只剩枝葉婆娑，彷彿正迎接下批新學子的到來。千里聚首終須一別，彩雲片片已長留我心。此行不虛！
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